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半導體器件中的Sorters是哪個？
2026-03-20 15:33

Sorters（分選機）是半導體技術制作業歷程中不能夠或缺的重中之重的設備，基本用在晶圓的拆卸、分選和監管，保持種植操作流程的效率與持續性。左右是管于Sorters的基本簡介：

1. Sorters的定義與功能
Sorters是一種自動化設備，用于對晶圓進行分類和篩選。它們能夠根據晶圓的參數（如大小、電性能、光學性能等）進行分選，并確保每個晶圓的品質符合生產要求。Sorters的主要功能包括：
- 晶圓的上下線、制程前分批、制程后合并、制程間倒片。
- 產品出廠校驗、排序、料盒交換等。


2. Sorters的核心內容器件

Sorters由多個關鍵部件組成，包括：
Load port（接口模塊）：用于晶圓的進出，可與晶圓廠的物料傳輸系統集成。
機械臂（Robot）：用于抓取和搬運晶圓，確保晶圓在設備內部的精確移動。
晶圓抓手（End effector）：通過真空或夾持方式固定晶圓，保證晶圓在移動中的穩定性。
預對準器（Aligner）：使用LED照明和圖像識別傳感器，精確檢測晶圓邊緣和Notch槽位置。
控制系統：協調和控制各個部件的運行，實現晶圓的自動分選和分類。

3. Sorters的應用
Sorters廣泛應用于半導體制造的多個環節，包括：
晶圓制造前的準備階段：負責晶圓的裝載和卸載。
光刻、刻蝕和離子注入過程：確保晶圓在不同加工站之間的精確傳輸。
清洗和檢測過程：提高清洗效率和檢測精度。
封裝和后道處理：將晶圓轉移到封裝設備中，進行最終的質量控制。

4. Sorters的重要性
Sorters在半導體制造中扮演著重要角色：
提高效率：通過自動化操作，減少人工干預，提高生產效率。
保證質量：確保晶圓在潔凈室環境中的清潔度和精確性。
優化流程：通過與生產線其他設備的集成，實現數據共享和流程優化。

肯定，Sorters是半導體服務行業機械設備制作中不可以或缺的機械設備，她們按照自功化和智力化的進行處理方法，有效確保了晶圓的科學規范分選和的管理，為半導體服務行業機械設備服務行業的優質化量生產方式供應了極為重要有效保障。

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