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SKD2000 全自然晶圓測試探針臺 可用：6inch、8inch,LSI(大產值集成系統型用電線路板)和VLSI(更大產值集成系統型用電線路板)等晶圓檢測。
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的產品陳述

適用范圍：

適在于6inch、8inch,LSI(大總量一體化用電線路)和VLSI(超級大總量一體化用電線路)等晶圓測試英文。

 

技術參數技術參數：

項目編號 該項目 東西 備注名稱
1 晶圓盡寸金橋銅業跨接線的截面積大小 晶圓直徑怎么算 6/8寸  
2 晶圓體積尺寸 150~1000μm  
3 薄厚偏差值 ≤+50μm  
4 Die寸尺 0.25~100mm  
5 Index Time 循環系統日子 230ms(Die≤5mm)  
6 X/Y軸 精確 ≤+2μm  
7 比較大流速 250mm/s  
8 試探過程 ≥±120mm  
9 糞便率 0.1μm  
10 Z軸 誤差 ≤+2μm  
11 比較大快速 50mm/s  
12 旅程 ≥47mm  
13 甄別率 0.1μm  
14 θ 可轉換範圍 ±5°  
15 簽別率 0.00007°  
16 廠務標準要求 工作電壓 AC 220V 50/60Hz  
17 CDA 0.6~0.8MPa 管經ф8  
18 真冷空氣源 -80~-100KPa 管子尺寸ф6  
19 整個機器 盡寸(L*W*H) 1370*1475*1300mm  
20 凈重 1500Kg  
21 大電流大小軟件測試 工作電流空間 0~800A 配置
22 各類高壓測驗 交流電壓條件 0~3000V 選裝
23 上下溫測試軟件 溫依據 -60~200℃ 選用
24 控溫精度等級 ±0.1℃
25 溫度因素穩固性 0.1℃
26 平均溫度均勻分布性

≤100℃時≤+0.5℃

>100℃時<±0.5%
     
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