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駕駛式化晶圓電極臺SKD3000 全一鍵晶圓檢驗測試探針臺SKD3000是是一款在8/12inch LSI（大產值集成系統型用電線路）和VLSI（巨型產值集成系統型用電線路）晶圓檢驗的檢驗測試探針臺。
連續我
軟件表述

簡析：

手動式式晶圓測試探針臺SKD3000是的一款應用于8/12inch LSI（大的的規模集合整合運放）和VLSI（巨大的的規模集合整合運放）晶圓檢測的探頭臺。

 

特征優勢：

1、高表面粗糙度測試英文探針臺測試英文組織形式的X/Y軸的任何時候精確定位表面粗糙度led光通量±2μm；

2、高剛度和強度Z/θ軸能改變Chuck長時長安穩測試方法；

3、出具自功上料機能力，成為測試電極與Pad自功對位能力。分為單獨的的光電器件程序使測試電極卡上大部分的針尖也可以自功靶向地扎在響應的Pad上；

4、設施性能和程序運行心態信息內容等數據報告應該公民權傳送或接受到到固態盤和外估算機系統化，便宜實時監控觀察和產品追溯具體分析。

 

性能指標技術參數：

順序號 新項目 內容 備注
1 機臺規格尺寸及總重 面積（L*W*H） 1590*1620*1460mm  
2 重 約2.2T  
3 晶圓外形尺寸樣式 晶圓半徑 8"/12"  
4 晶圓層厚 150~2200μm  
5 厚薄偏移 ≤±50μm  
6 Die面積 0.2~100mm  
7 測評放向 軟件測試循序 X/Y方向盤聯續發現  
8

θ

 可緩解超范圍 ±5°  
9 甄別率 0.00007°  
10 X/Y軸 精確 ≤±2μm  
11 最大的加速度 250mm/s  
12 探測器路程 ≥±160mm  
13 甄別率 0.1μm  
14 Z軸 表面粗糙度 ≤±2μm  
15 最多進程 50mm/s  
16 旅行線路 ≥80mm  
17 辨別率 0.1μm  
18 OD超范圍 0~500μm  
19 Index Time 配置準確時間 230ms（6mm以下的Die Z生降0.5mm）  
20 預貼準 脫貧攻堅度 弧度≤±0.5°，管理中心地理位置≤0.2mm  
21 觸屏屏 規格參數 15Inch五線內阻式  
22 大電壓測試英文 電壓電流范圍內 0~800A 選購
23 高壓力各種測試 的電壓空間 0~3000V 標配
24 高度溫軟件測試 環境溫度空間 -60~200℃ 選擇裝配
25 控溫精確 ±0.1℃
26 攝氏度穩定可靠性 0.1℃
27 溫度因素均勻分布性 ≤100°C時≤+0.5°C
＞100°C時＜+0.5%
 
涉及到的設備